数mL/min の微小液体流量の計測を実現した。流体状態の変化（気泡、脈動、流体温度等）の影響を受けにくく、計測対象流体の補正が容易（流体の熱伝導率にて補正）な使い易さを開発コンセプトとする。ポンプ回転数、重量測定、流体供給時間の管理等の代替手法から置き換えて瞬間流量・積算流量を計測することにより、より確実な計測数値に基づく製造工程の品質管理や工程異常検知が可能になった。

URL　:　https://www.azbil.com/jp/product/factory/factory-product/flowmeter/rate-liquid/f7m/index.html

• 業種分類
• 製造業　インフラ（電気・ガス・熱供給・水道業）

• 製品分類
• デバイス・センサー

• サービス分類
• 部品販売

• 対応地域
• 東京

• 出典
• 日経産業新聞 2019.12.3""

• リリース日
• 2019/12/01